本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體工業(yè)拉制單晶用的高純透明石英玻璃坩堝。   

    本坩堝采用天然石英熔制成坯體，并在其內(nèi)表面涂一層高純?nèi)嗽焓⒉Ａ印?nbsp;  

                一、技術(shù)要求     

   1．物理、化學(xué)性能指標(biāo)   

    （1）化學(xué)成分   

    a．內(nèi)涂層化學(xué)成分   

    鋁、鈣、鎂、鈦、銅、鐵、鉆，鎳、錳、硼、鉀、鈉、理十三個(gè)雜質(zhì)元素的總含 

量不得大于0．001％。   

其中：鋁≤5×l0[-4]％；      銅≤0．l×l0[-4]％；   

      鐵≤0．5×l0[-4]％；   硼≤0．1×l0[-4]％； 

      鉀≤1×l0[-4]％；      鈉≤1×10[-4]％。   

   b．坩堝坯體化學(xué)成分       

    鋁、鈣、鎂、鈦、銅、鐵、鈷、鎳、錳、硼、鉀、鈉、鋰十三個(gè)雜質(zhì)元素的總含 

量不得大于0．01％。   

其中：鋁≤60×10[-4]％；     銅≤0．1×l0[-4]％；  

      鐵≤5×l0[-4]％；      硼≤0．3×l0[-4]％；  

      鉀≤4×l0[-4]％；      鈉≤4×l0[-4]％。     

    （2）熱穩(wěn)定性                     

    試樣在1100℃至20℃溫度急變下試驗(yàn)三次，不產(chǎn)生裂紋。   

    （3）抗結(jié)晶性   

    試樣在1200℃溫度下恒溫半小時(shí)，不允許出現(xiàn)直徑大于3毫米的析晶白點(diǎn)，0．5～ 

3毫米的析晶白點(diǎn)，每100平方厘米不得超過10個(gè)。    

    （4）涂層厚度應(yīng)均勻，折合重量應(yīng)符合表1規(guī)定。 

表1 

 外徑D         涂層重量        外徑 D          涂層重量 

  毫米              克           毫米             克 

   80              3.0           106              4.5 

   90              3.5           114              5.5 

  100              4.0           130              7.0 

2．外觀指標(biāo) 

    (1)坩堝坯體部分（見表２）。 

          項(xiàng)        目 

氣   直徑    弧度部分                      0.3- 0.4 

    毫米    直線部分                      0.3- 0.7 

泡   允許數(shù)量（個(gè)/厘米[2]）                   ≤6 

暗   長    徑   弧度部分                      1- 4 

       毫米     直線部分                      2- 4 

疤   允許數(shù)量（條/100厘米[2]）                ≤4 

色   絲狀長徑（毫米）                      0.2- 1.5 

     點(diǎn)狀直徑（毫米）                      0.2- 0.8 

斑   允許總數(shù)（個(gè)/100厘米[2]）                ≤4 

     透明顆粒允許數(shù)量（個(gè)/100厘米2）          ≤30 

波紋（毫米）                                  ≤0.3 

  注：①缺陷寬度小于點(diǎn)狀下限的按絲狀計(jì)。 

      ②非圓形缺陷的直徑均按算術(shù)平均值計(jì)。 

    (2)坩堝口部不得有缺口，不得有深、寬大于4毫米的表皮崩落。 

   (3)坩堝內(nèi)表面不允許有色斑沾污和析晶。 

    (4)坩堝內(nèi)表面涂層上每100平方厘米中允許透明顆粒（直徑在0.5- 0.7毫米）為10 

個(gè)。 

    二、形狀與規(guī)格尺寸 

3．半導(dǎo)體用透明石英玻璃坩堝的形狀與規(guī)格尺寸應(yīng)符合下圖及表３規(guī)定。 

表３ 

外  徑     高  度    底半徑      厚度范圍      同一橫截面的厚度公差 

  D          H         R 

 80+0.6     60±2     D-1        2.0±0.5             0.3 

  -0.9              ─── 

                       2 

 90+0.6     70±2     D-2        2.0±0.5             0.3 

   -0.9              ───                          

           2 

100+0.6     80±3     D-2        2.3±0.5             0.3 

  -1.1              ─── 

     2 

106+0.6     90±3     D-2        2.3±0.5             0.3 

   -1.1              ─── 

                       2 

114+0.6     75±3     D-2        2.3±0.5             0.3 

   -1.1              ─── 

     2 

130+0.6    110±3     D-2        2.5±0.5             0.4 

   -1.6              ─── 

    2 

    三、試驗(yàn)方法   

4．化學(xué)成分   

    按JC 1866－81《石英玻璃原料及制品中微量雜質(zhì)元素的分析方法》中的規(guī)定 

進(jìn)行。   

5．熱穩(wěn)定性   

    按JC187－73《石英玻璃熱穩(wěn)定性檢驗(yàn)方法》中的規(guī)定進(jìn)行。   

6．抗結(jié)晶性   

    按JC 188－73《石英玻璃抗結(jié)晶性檢驗(yàn)方法》中的規(guī)定進(jìn)行。   

7．氣泡   

按JC190－81《透明石英玻璃氣泡、氣線檢驗(yàn)方法》中的規(guī)定進(jìn)行。